真空泵油在半導體工業(yè)領域中的再造循環(huán)利用

全氟甲基丙烯酸酯油(PFPE)分子結構鏈飽和狀態(tài)，不過氧化物原素，有機化學性能尤其平穩(wěn)，抗氧化劑，與氧相溶，不可燃性，耐強堿、強酸等化合物，高溫性能平穩(wěn)，并具備非常低的揮發(fā)速度和優(yōu)良的潤化性能。不但安全性， 且使用期長。

         半導體材料工業(yè)生產在集成ic生產過程中務必應用一些獨特的汽體與一些具備毒副作用的氧化劑，因此規(guī)定在加工工藝生產過程中普遍應用的真空泵具備十分優(yōu)異的適應能力，PFPE因其出色性能而獲得普遍應用。特別是在在清除火災事故或發(fā)生爆炸的風險安全隱患等層面也是性能非凡。

         全球對生態(tài)環(huán)境保護的規(guī)定愈來愈高。如何處理在真空泵維修和應用全過程中所造成的廢油是擺放在全部企業(yè)眼前的一大難點。傳統式的處理方法是將收購的廢油送至本地廢油處理站焚燒處理。但PFPE是沒法點燃的。換句話說，簡易解決應用過的PFPE油會導致**性的空氣污染。

       全氟甲基丙烯酸酯廢油再造利用的全部階段和生產制造程序流程，做為初始PFPE真空泵油生產商的專業(yè)技能和工作經驗基本以上。全部再造工作中均在國外美國俄亥俄州的Deepwater生產制造加工廠進行。根據很多年的技術專業(yè)工作經驗，PFPE真空泵油的再造加工過程，包含中合，過慮，除氣，精餾塔，氧化鉍再造及其特制等流程，在其中氧化鉍再造是至關重要的流程，并加上健全的材料分析測試方式包含氣象色譜儀，紅外線色譜儀，分子光譜圖等方式來實時跟蹤，剖析并監(jiān)管相關酸值，黏度，蒸汽壓等至關重要的指標值，以保證再造生產制造的PFPE再造油性能指標值與新生產制造的PFP油完全一致，而且確保在操作過程全過程中性能徹底等同于，加工工藝工程項目的**控制及徹底閉試循環(huán)系統等的特性, 促使再造成品率達95~98%。

         除此之外，所述再造工程項目中，全部過慮，特制等程序流程所造成的廢料均嚴苛依照英國相對的政策法規(guī)來解決，并嚴苛依照有關的程序流程，以利于生態(tài)環(huán)境保護。再造利用計劃方案，針對顧客有以下明顯優(yōu)勢：

（1）為顧客搜集廢油免費出示涂料桶；

（2）節(jié)約了應急處置廢油的花費和時間；

（3）因為再造油的再次應用，節(jié)約了實際操作運作成本；

（4）因為廢油的安全性和合理合法應急處置，完成了環(huán)境保護目地；

（5）保證 再造利用的油做到原商品的規(guī)范；

（6）在全部操作流程中出示服務支持。

         鑒于此，海外基本上全部的真空泵生產商和集成電路芯片生產廠均聽取意見此計劃方案。搜集全部使用過的PFPE油，獲得本地公司和其代理商的適用和服務項目。再造利用，完成環(huán)境保護，并控制成本。

         中國半導體材料產業(yè)發(fā)展快速，環(huán)境保護規(guī)定持續(xù)提升。半導體業(yè)廢油解決的環(huán)境污染問題已造成集成ic生產廠及私營部門的重視?，F階段，中國取得成功地創(chuàng)建了該項目地健全保障體系。一方面，把搜集的PFPE廢油100% 送至英國新澤西州加工廠開展再造利用，使中國有關公司一樣得此再造利用計劃方案的六大益處；另一方面，為中國的環(huán)境保護工作做出貢獻。