皮拉尼真空計THERMOVAC TTR 916 N

真空壓力測量和原理

隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，對真空變送器量程的要求達到2000毫巴至10^-12毫巴，測量范圍達16個數(shù)量級。

由于物理特性的原因，沒有一個單獨的真空計能夠在整個壓力范圍內(nèi)進行定量測量。因此，真空提供一系列采用不同設(shè)計的具有各自特有測量范圍（測量原理應(yīng)用直接壓力測量和間接壓力測量）的真空計。

直接（）式壓力測量與被測量的氣體類型無關(guān)。利用機械方法，通過作用于薄膜表面的壓力進行測量。

間接壓力測量通過測量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導率，電離概率）進行間接測量的，因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型。測量讀數(shù)是以空氣或氮氣為測量氣體時的讀數(shù)，對于其他氣體，可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù)。

真空變送器控制簡單，極易與系統(tǒng)集成。

真空計的優(yōu)勢：

可靠性高

操作簡單

測量結(jié)果重復性好

持續(xù)監(jiān)測若干測量地點

安裝簡單并且節(jié)省成本和空間

測量地點和加工站之間的傳輸距離變長（可達100米）

通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計算機

符合電磁兼容性（EMC）要求

符合國際標準和規(guī)程（CE,UL,RoHS,WEEE等）

THERMOVAC型變送器基于皮拉尼真空計的熱傳導原理設(shè)計，S型變送器配備集成的繼電器輸出，適合工藝控制。THERMOVAC型變送器帶有360°LED環(huán)顯示真空計的狀態(tài)。

優(yōu)勢

采用MEMS技術(shù)。耐沖擊，耐震動

精度高，相應(yīng)速度快

可靠性高

TTR 91N(S)/ TTR 96N

測量原理

皮拉尼熱傳導真空計

量程范圍

5．10^-5到1000mbar

TTR 911N(C/S)/ TTR 916N

TTR 911N和TTR 916N系列配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器。C版帶有Parylene HT鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。

測量原理

皮拉尼熱傳導真空計

量程范圍

5．10^-5到1000mbar

TTR 101N(S)

TTR 101N系列真空計的采用基于MEMS技術(shù)固態(tài)傳感器單元，耐沖擊和振動。該真空計結(jié)合的皮拉原理與壓電原理的優(yōu)勢（10mbar到1500mbar測量結(jié)果與氣體種類無關(guān)）。

優(yōu)勢

復合真空計（MEMS皮拉尼與MEMS壓電薄膜）

精度高，量程寬

測量原理

皮拉尼熱傳導/壓電壓力

量程范圍

5．10^-5到1500mbar